Thông số kỹ thuật cho phòng sạch bán dẫn
Giới hạn lớp, nhiệt độ, độ ẩm và độ rung yêu cầu phụ thuộc vào nút quy trình và công cụ. Các kỹ sư quy trình và nhà thiết kế cơ sở của bạn đặt ra thông số kỹ thuật cuối cùng. Bảng bên dưới hiển thị các tài liệu tham khảo phổ biến cho các lĩnh vực chúng tôi thường hỗ trợ.
| Khu vực | Lớp điển hình | Điểm thiết kế chung | Vật liệu tiêu biểu từ chúng tôi |
|---|---|---|---|
| In thạch bản wafer và giao diện người dùng (dự án chuyên môn) | ISO 3–5 | Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm chặt chẽ, kiểm soát độ rung, lọc AMC | Phối hợp với các chuyên gia fab |
| Phòng thí nghiệm R&D và quy trình quy mô nhỏ | ISO 5–6 | Dòng chảy tầng cục bộ, bề mặt chống tĩnh điện | Tấm, luồng không khí tầng, HEPA |
| Lắp ráp, liên kết và đóng gói | ISO 6–7 | Kiểm soát ESD, độ ẩm chặt chẽ | Tấm chống tĩnh điện, Airshower |
| Kiểm tra và kiểm tra | ISO 7–8 | Nhiệt độ ổn định, kiểm soát ESD | Tấm, cửa phẳng |
| Áo choàng và khóa khí | ISO 7–8 | Buồng thổi khí, cửa lồng vào nhau | Buồng thổi khí, Pass Box |
| Khu vực hỗ trợ | ISO 8 | Phong bì tiết kiệm | Tấm, cửa tiêu chuẩn |
Giới hạn hạt ở 0,5 µm trên m³ (ISO 14644-1): ISO 3 cho phép 35, ISO 4 cho phép 352, ISO 5 cho phép 3.520, ISO 6 cho phép 35.200, ISO 7 cho phép 352.000 và ISO 8 cho phép 3.520.000.
- Lọc: HEPA H14 hoặc ULPA thường dùng cho các loại chất làm sạch (ULPA U15 theo EN 1822).
- Kiểm soát ESD: các bề mặt, sàn nhà và nơi làm việc thường được thiết kế theo tiêu chuẩn ESD như ANSI/ESD S20.20 hoặc IEC 61340-5-1.
- Độ ẩm: thường được giữ trong phạm vi hẹp, chẳng hạn như 40–50% RH, để cân bằng nhu cầu tĩnh và quy trình.
- Vật liệu: các yêu cầu về lượng khí thải thấp nên được thảo luận ngay từ đầu.
Rung và bố trí: các công cụ nhạy cảm có thể cần các tầng cách ly hoặc nền móng riêng biệt do người thiết kế tòa nhà xử lý. Hệ thống tường không nên được buộc chặt vào nền móng nhạy cảm với rung động và chúng ta có thể điều chỉnh các chi tiết để giữ chúng tách biệt.
Giao hàng xuyên biên giới và hỗ trợ xây dựng địa phương
Các dự án bán dẫn có lịch trình khắt khe vì các công cụ đắt tiền và phải chờ phòng sẵn sàng. Chúng tôi lên kế hoạch vận chuyển để hệ thống tường, cửa và thiết bị đến trước khi bắt đầu lắp đặt công cụ và chúng tôi luôn hiển thị ngày giao hàng cho cả nhóm.
- Bố cục và đánh giá lớp học: chúng tôi xác nhận loại phòng, dấu chân dụng cụ, kích thước cửa và các tuyến tiện ích.
- Đóng gói được đánh số: các tấm và cửa được dán nhãn theo phòng và vị trí.
- Tài liệu: phiếu đóng gói, hóa đơn thương mại và giấy chứng nhận xuất xứ, với điều kiện FOB, CFR hoặc CIF.
- Vận chuyển theo giai đoạn: lô hàng có thể thực hiện theo các giai đoạn xây dựng.
- Hỗ trợ cài đặt: hướng dẫn sử dụng, hướng dẫn bằng video hoặc kỹ sư giám sát.
Xây dựng địa phương: Phòng bán dẫn thường được xây dựng bởi các nhà thầu có kinh nghiệm về phòng sạch, hợp tác với các đội HVAC, điện, gas và nước. Phong bì phải phối hợp với lưới trần, tường hồi, sàn nâng, lối đi xuyên tiện ích và đường tiếp cận công cụ . Chúng tôi đánh dấu những điều này trên bản vẽ thi công và sớm xác nhận thông quan.
Đối với các dụng cụ nhạy cảm, phòng phải được làm sạch và kiểm tra trước khi chuyển vào. Việc kiểm tra số lượng hạt, luồng không khí, áp suất và rò rỉ bộ lọc được thực hiện bởi một bên có trình độ và chúng tôi cung cấp bản vẽ cũng như dữ liệu thành phần theo yêu cầu.
Đối với các khu vực nhạy cảm, chúng tôi tư vấn phương pháp thi công sạch sẽ: bảo vệ bề mặt hoàn thiện, hạn chế cắt bên trong phòng đã hoàn thiện và làm sạch theo từng giai đoạn. Việc vận chuyển cũng có thể được tính giờ để các phòng cao cấp nhất được xây dựng sau cùng, giúp giảm nguy cơ thiệt hại do các ngành nghề khác hoạt động gần đó.
Chúng tôi cũng khuyên các nhà cung cấp công cụ nên xem xét kích thước cửa và cửa mở ở giai đoạn vẽ vì việc thay thế khung cửa sau khi xây dựng rất tốn kém.
Kiểm soát và chứng nhận chất lượng
Khách hàng bán dẫn kiểm tra nhà cung cấp bằng danh sách kiểm tra chi tiết. Tấm tường và cửa không có chứng chỉ "cấp bán dẫn" , và chúng tôi không yêu cầu điều này. Chúng tôi cung cấp sản xuất nhất quán, hồ sơ có thể truy nguyên và giao tiếp cởi mở.
| Bước kiểm soát | Kiểm tra | Tại sao nó quan trọng |
|---|---|---|
| Vật liệu đến | Tấm, mặt, lõi, profile, miếng đệm, kính | Chất lượng được biết đến |
| Sản xuất tấm panel | Kích thước, độ phẳng, liên kết, dán cạnh | Các khớp nối chặt, phẳng |
| Kiểm tra bề mặt | Vết trầy xước, bong bóng, màu sắc, khả năng làm sạch | Tạo hạt thấp |
| ESD và kiểm tra hoàn thiện | Xem xét các tùy chọn chống tĩnh điện khi được chỉ định | Kiểm soát tĩnh |
| Cửa và thiết bị | Kiểm tra chức năng cửa, Airshower và Pass Box | Sẵn sàng để cài đặt |
| đóng gói | Đếm, nhãn, tình trạng | Giao hàng đầy đủ |
Tài liệu có sẵn: thông số kỹ thuật vật liệu, hồ sơ kiểm tra nhà máy, dữ liệu lọc và, nếu có, các báo cáo về hiệu suất của lửa hoặc bề mặt.
Khi dự án của bạn có các yêu cầu đặc biệt, chẳng hạn như giá trị điện trở bề mặt, vật liệu có ít khí thoát ra hoặc các phương pháp thử nghiệm cụ thể, vui lòng cho chúng tôi biết ở giai đoạn báo giá . Chúng tôi sẽ kiểm tra những tài liệu đã chọn có thể hỗ trợ những gì và sẽ không hứa hẹn những kết quả mà chúng tôi không thể ghi lại. Kiểm toán nhà máy và phê duyệt mẫu đều được chào đón.
Khách hàng bán dẫn thường gửi bảng câu hỏi dài cho nhà cung cấp và có thể yêu cầu kiểm tra quy trình. Chúng tôi trả lời chúng một cách trung thực, chia sẻ các tấm mẫu, mối nối và miếng đệm để bạn thử nghiệm và chào mừng các chuyến thăm tới nhà máy của chúng tôi. Hồ sơ lô được lưu giữ cho từng dự án, do đó, các câu hỏi sau này về một phòng cụ thể có thể được truy tìm ngày sản xuất và nguồn nguyên liệu.
Chúng tôi khuyên bạn nên thống nhất danh sách các tài liệu sớm. Nếu dự án của bạn cần một báo cáo thử nghiệm không tồn tại đối với các tài liệu tiêu chuẩn của chúng tôi, chúng tôi sẽ nói như vậy và thảo luận về các lựa chọn thay thế, chẳng hạn như một thử nghiệm bổ sung do một phòng thí nghiệm được công nhận thực hiện với chi phí của bạn.
Dịch vụ sau bán hàng và khả năng đáp ứng
Trong dây chuyền bán dẫn, thời gian ngừng hoạt động rất tốn kém và ngay cả một khe hở nhỏ trên tường hoặc đệm cửa bị hỏng cũng có thể ảnh hưởng đến năng suất. Chúng tôi giữ hoàn thiện hồ sơ dự án và đặt mục tiêu trả lời nhanh bằng phần đúng và phương pháp rõ ràng.
- Giao tiếp nhanh: câu hỏi kỹ thuật được trả lời bằng tiếng Anh qua email, điện thoại hoặc tin nhắn.
- Chẩn đoán từ xa: hình ảnh và video ngắn về các mối nối, miếng đệm, cửa sổ và cửa ra vào giúp chúng tôi đánh giá vấn đề.
- Phụ tùng thay thế: miếng đệm, bản lề, cửa đóng, tay cầm, cửa sổ, đèn và Bộ lọc HEPA.
- Thay đổi dòng: tường, cửa và lỗ hở có thể được sửa đổi khi di chuyển hoặc thay thế các công cụ.
- Kỹ sư thăm quan: theo sự sắp xếp.
Nguyên nhân điển hình của các vấn đề về hạt hoặc áp suất:
| Triệu chứng | Nguyên nhân có thể | Hành động được đề xuất |
|---|---|---|
| Số lượng hạt tăng lên | Bộ lọc bị hỏng, bề mặt bị mòn, xuyên thủng | Bộ lọc kiểm tra rò rỉ, kiểm tra bề mặt, hàn lại |
| Giảm áp suất | Vòng đệm bị mòn, lỗ mở không kín sau khi thay dụng cụ | Thay gioăng, bịt lại lỗ hở |
| Sự kiện phóng tĩnh điện | Bề mặt ESD bị mòn hoặc bị nhiễm bẩn | Làm sạch hoặc thay thế các bề mặt, kiểm tra nối đất |
Chúng tôi khuyên bạn nên giữ lại báo cáo thử nghiệm cơ bản từ giai đoạn vận hành thử để giúp so sánh kết quả sau này.
Nhiều nhà máy bán dẫn ghi lại số lượng hạt, áp suất và độ ẩm liên tục. Khi xu hướng thay đổi, chúng tôi khuyến khích bạn gửi cho chúng tôi dữ liệu cùng với mọi thay đổi gần đây trong phòng, chẳng hạn như công cụ mới, cơ hội mới hoặc chất tẩy rửa mới. Với các bản vẽ và hồ sơ dự án được lưu trữ, các kỹ sư của chúng tôi sau đó có thể đề xuất các nguyên nhân có thể xảy ra và các bước khắc phục.
Các bộ phận thay thế được sản xuất theo thông số kỹ thuật ban đầu nên hình thức bên ngoài và hiệu suất bịt kín phù hợp với hệ thống hiện có. Đối với những trường hợp khẩn cấp, chúng tôi thảo luận về phương án vận chuyển nhanh nhất và chuẩn bị trước chứng từ.
Dự trữ một lượng nhỏ các miếng đệm, chất bịt kín và bộ lọc tại công trường là cách hợp lý để tránh sự chậm trễ kéo dài.
Điều khoản thương mại, bảo hành và chi phí vòng đời
Đối với khách hàng bán dẫn, chi phí bao bọc phòng sạch là nhỏ so với chi phí công cụ và tổn thất sản xuất. Do đó, sự so sánh hữu ích nhất là tổng rủi ro và thời gian ngừng hoạt động, không chỉ đơn giá. Chúng tôi cởi mở về những gì phong bì của chúng tôi có thể và không thể làm.
| Mục | Cách tiếp cận của chúng tôi |
|---|---|
| Báo giá | Mụcized by room and component, with drawings |
| Điều kiện thương mại | FOB, CFR hoặc CIF, được xác định trong báo giá |
| thanh toán | Thường là đặt cọc với số dư trước khi giao hàng hoặc chống lại chứng từ; điều khoản cuối cùng trong hợp đồng |
| Bảo hành | Được xác định bởi nhóm thành phần trong hợp đồng |
| thời gian dẫn | Đưa ra sau khi xác nhận bản vẽ |
| Tùy chỉnh | Kích thước, độ dày, màu sắc, tùy chọn ESD, bố trí cửa |
Cân nhắc chi phí:
- Lớp: mỗi bước hướng tới lớp sạch hơn sẽ làm tăng chất lượng cung cấp không khí, lọc và xây dựng.
- Kiểm soát ESD: bề mặt chống tĩnh điện đắt hơn nhưng tránh làm hỏng các thiết bị nhạy cảm.
- Độ kín: làm giảm năng lượng quạt và làm mát.
- Tính mô đun: cho phép di chuyển hoặc mở rộng dây chuyền sản xuất.
Các công cụ xử lý, HVAC, nước siêu tinh khiết, hệ thống khí đốt, hệ thống giám sát và giấy phép đều nằm ngoài nguồn cung cấp của chúng tôi. Các điều khoản loại trừ bảo hành được ghi rõ trong hợp đồng.
Khi bạn so sánh các nhà cung cấp, hãy yêu cầu mỗi nhà cung cấp nêu rõ phạm vi, vật liệu và những gì bị loại trừ, chẳng hạn như lưới trần, sàn nâng, tường chắn và các lỗ hở dành riêng cho dụng cụ. Chúng tôi cung cấp một danh sách được chia thành từng mục để giúp việc so sánh trở nên đơn giản.
Nếu ngân sách của bạn có hạn, chúng tôi có thể đề xuất các thông số kỹ thuật thay thế, ví dụ như phong bì cấp cao hơn cho khu vực ISO 5 hoặc 6 và phong bì tiết kiệm cho các phòng hỗ trợ. Chúng tôi muốn giúp bạn thiết kế phù hợp với nhu cầu thực tế hơn là bán nhiều hơn mức bạn yêu cầu.
Sức mạnh thực sự của nhà máy cho các dự án liên quan đến chất bán dẫn
Người mua hàng điện tử và chất bán dẫn muốn nguồn cung ổn định và liên lạc nhanh chóng. Công ty TNHH Pharma United được thành lập năm 2006, hoạt động hai nhà máy ở Côn Sơn và Kiềm Giang có diện tích 20.000 m2 , với hơn 60 nhân viên. Chúng tôi là nhà sản xuất, không phải công ty thương mại.
| Chỉ số | Thông tin |
|---|---|
| Kinh nghiệm | 20 năm trong ngành kỹ thuật phòng sạch |
| Tấm phòng sạch HPL | Khoảng 250.000 m2/năm; Nhà sản xuất bảng điều khiển phòng sạch HPL lớn nhất Trung Quốc |
| Lô hàng container | Hơn 1.000 container khối cao 40 feet mỗi năm |
| Vị trí | Côn Sơn, cách Thượng Hải khoảng 30 km |
| Phạm vi sản phẩm | Tấm, cửa ra vào và cửa sổ, thiết bị, POD mô-đun, sản phẩm HEPA |
| Dịch vụ | Hỗ trợ thiết kế, sản xuất và lắp đặt |
Tại sao điều này lại giúp ích cho người mua trong chuỗi bán dẫn: Côn Sơn là một phần của khu công nghiệp điện tử đồng bằng sông Dương Tử và nhà máy của chúng tôi nằm gần cảng Thượng Hải. Đầu ra bảng điều khiển của chúng tôi hỗ trợ các phòng lớn có bề mặt hoàn thiện đồng nhất và cửa ra vào, cửa sổ và thiết bị phù hợp với tấm .
Chúng tôi cởi mở về phạm vi: đối với các hệ thống chuyên dụng và nhà máy hàng đầu, chúng tôi làm việc với các chuyên gia khác. Các mẫu, tài liệu tham khảo, tham quan nhà máy và tham quan bằng video đều có sẵn theo yêu cầu.
Các kỹ sư của chúng tôi trả lời trực tiếp các câu hỏi kỹ thuật, giúp đưa ra các quyết định liên tục.
Các nhà thiết kế của chúng tôi chuẩn bị bố cục và bản vẽ, các kỹ sư của chúng tôi xem xét các chi tiết niêm phong và giao diện với các ngành nghề khác, đồng thời đội sản xuất của chúng tôi vận hành các dây chuyền chuyên dụng cho bảng điều khiển, cửa và thiết bị. Điều phối viên xuất khẩu xử lý việc đóng gói và chứng từ.
Khách hàng trong lĩnh vực điện tử và các ngành liên quan quay lại mua sản phẩm mở rộng và phụ tùng thay thế. Hình ảnh và video về các phòng đã hoàn thiện có thể được chia sẻ theo yêu cầu và các chuyến thăm tới nhà máy của chúng tôi đều được chào đón theo sự sắp xếp.
Câu hỏi thường gặp về vật tư phòng sạch Fab bán dẫn
Q1. Bạn có thể xây dựng một nhà máy wafer hoàn chỉnh không?
Không. Các nhà máy hàng đầu cần hệ thống tích hợp chuyên dụng. Chúng tôi cung cấp phong bì, cửa ra vào, cửa sổ, Vòi sen khí, Hộp thông gió, Luồng khí tầng và các bộ phận HEPA cho các khu vực phù hợp, chẳng hạn như phòng đóng gói, phòng thử nghiệm, phòng R&D và phòng hỗ trợ.
Q2. Những lớp ISO nào là điển hình trong chất bán dẫn?
Kỹ thuật in thạch bản mặt trước và các bước quan trọng thường có ISO 3 đến 5, trong khi lắp ráp, đóng gói và kiểm tra thường có ISO 6 đến 8.
Q3. Bạn có cung cấp bảng an toàn ESD không?
Chúng tôi có thể cung cấp các tùy chọn chống tĩnh điện. Các giá trị điện trở bề mặt và phương pháp thử nghiệm phải được nêu trong thông số kỹ thuật của bạn và chúng tôi sẽ kiểm tra xem vật liệu đã chọn có thể hỗ trợ những gì.
Q4. Tấm của bạn có phải là "loại bán dẫn" không?
Không có sản phẩm xây dựng nào có được chứng chỉ như vậy. Chúng tôi cung cấp các bề mặt nhẵn, kín và các hồ sơ hỗ trợ cho trình độ chuyên môn của bạn.
Q5. Còn ô nhiễm phân tử trong không khí thì sao?
Kiểm soát AMC dựa vào việc lọc hóa học và lựa chọn vật liệu. Vui lòng sớm thảo luận về các giới hạn với chúng tôi và chúng tôi sẽ xem xét mức độ phù hợp về mặt vật chất.
Q6. POD mô-đun có thể đóng vai trò là dây chuyền thử nghiệm không?
Có, dành cho sản xuất nhỏ hoặc R&D khi nhu cầu đẳng cấp và tiện ích phù hợp.
Q7. Làm thế nào để tôi nhận được báo giá?
Gửi lớp mục tiêu, bố cục, loại quy trình và quốc gia đích đến của bạn.
Q8. Bạn có thể cung cấp trần FFU không?
Nguồn cung cấp của chúng tôi tập trung vào các tấm, cửa ra vào, cửa sổ, Vòi sen khí, Hộp thông gió, Luồng khí nhiều lớp, Bộ lọc HEPA và Hộp cung cấp HEPA. Đối với hệ thống bộ lọc quạt hoặc lưới trần hoàn chỉnh, vui lòng chia sẻ thông số kỹ thuật và chúng tôi sẽ xác nhận những gì chúng tôi có thể cung cấp.
Q9. Bạn có thể cung cấp bảng mẫu?
Có, mẫu có thể được gửi để kiểm tra riêng của bạn.
